スーパールミネッセントダイオードを用いた高精度干渉顕微鏡の開発

工学部 工学科 教授 陳 軍
工学部 工学科 教授 豊田 光紀

スーパールミネッセントダイオード(SLD)を用いた共通光路透過型位相シフト干渉顕微鏡を開発し、微小な光学デバイスや生物細胞の直接観察と高精度位相計測を可能とする研究。
フォトニクスやバイオニクスの研究現場での広い応用が可能。

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光導波路や活きた生物細胞のような透明で微小な位相物体の高精度定量計測はフォトニクスやバイオニクス分野で重要である。そのため、我々はバイプリズム/ウォラストンプリズムを用いた透過型共通光路位相シフト干渉顕微鏡を開発し、生産現場での高精度位相計測を可能にした。

本研究の目的は、適度な干渉性を有しながら、通常の照明光同様で直視できるスーパールミネッセントダイオード(SLD)を導入し、従来の光学顕微鏡同様で肉眼で観察できるとともに、光の色情報をも活用した超高安定・高精度の新しい干渉顕微鏡システムの開発である。

現在、SLDを光源に用いた共通光路位相シフト干渉顕微鏡の実験光学系を構築し、光ファイバーの屈折率分布の計測実験を行い、本手法の有効性を確かめた。今後は高精度化や多波長化を進める予定である。

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